产品介绍：

MPI TS200-SE适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 、失效分析 (FA)和1/f低噪声测试。

产品优势：

1.MPI ShielDEnvironmentTM屏蔽环境

• 专为EMI/RFI/Light-Tight屏蔽所设计的精密量测环境

• 支援飞安级低漏电量量测

• 温度量测范围-60℃至300℃

2.具备气浮式样品台，可快速移动样品到待测位置

• 快速移动样品台的行程为：225*260mm（8.9*10.2in）

• 精调全部用的日本Mitutuyo三丰的千分尺，更稳定更耐用，范围为：25×25mm

• 样品台具备一键气浮快速升降，行程为：20mm，搭配日本三丰精调千分尺，精调行程为：5mm

3.针座具备快速升降功能，可快速更换待测点

• 三档式快速抬杆，3mm(架针)、300um(分离)0um (接触)

• 搭配前级微小抬杆(150um、100um、50um高度可选)缩短抬升范围

• 测试效率提升20倍

• 最大MicroPositioner承裁数量:8DCor4DC+2RFor2DC+4RF

• 在这种操作下，连续测试10个器件，S21参数重复误差低于-60dB

• 具备抬升安全锁

4.有着独特的样品台设计

• 样品台具备更多的真空吸附口，样品固定更稳定，并且可以支持碎片/单颗器件/封装器件等

• MPI TS200-SE具备模块化升级RF、高功率等测试

5.MPI的针座以及线缆固定设计专门为高精度测试设计

• MPI所有针座采用昂贵的碳钢材料，所以重量是FF的针座的2-3倍。磁吸附后更稳定，更不容易因为震动而位移或者因为温差而变形。测试重复性提高95%

• TS200-SE所有测试探针、线缆、样品等全部密封在屏蔽室内，提高测试精度