产品介绍：

YB600是150mm手动探针台系统，可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。

技术优势：

1、单机多应用设计

•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用，如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性

2、具备工效学设计

•XY 轴微调设计/Y 轴快速导入导出/载物台设计

•坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台

•两段式工作台快升把手设计,接触(contact） - 分离（loading)，实现高可靠性、高效率性

•具备yl23455永利官网独有专利技术的气浮式移动样品台，搭配微调千分尺

3、弹性选配与升级性

•另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载，以完全支援您的应用需求

4、高压人机安全防护设计

•Platen 底部特征聚合物高压防护设计

•Chuck 独特安全隔离防护设计

•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆（标准 SHV Coaxial 接口）通用

keithley&keysight 高压仪表

•红外感测 interlock 安全互锁机制

应用方向：

该系统主要应用于晶圆级高频电学特性的测试，可升级最高频可达110G测试，满足于6寸及以下产品应用。具备多模块应用升级，如高温，防震屏蔽，光学等