TS150

产品介绍：

TS150应用于测试半导体晶圆级、器件类电学特性，具备可以快速拖动样品台，更换样品功能，并且有着独特Platen平台设计，测试重复性提高95%。MPI 全系列探针台具备模块化设计,可搭配不同变倍比显微镜，同时与德国ERS联合开发设计具有气冷温控技术的Thermal Chuck同步使用。

产品优势：

1、气浮式样品移动系统

MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为操作人员提供了很强的便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时又不影响精确的定位功能。

2、高度调整比例

探针台工作台面具有25毫米的精细高度调节，支持各种应用，独特的1mm精确刻度可准确指示当前位置。

3、多种卡盘选项

手动系统可提供多种卡盘选项，以满足不同的预算和应用需求。 

4、多种光学系统选择

提供多种光学器件，可以在用于普通DC / CV应用的立体声或用于射频配置的单管MPI SZ10或MZ12之间进行选择。

5、屏蔽系统

暗箱为超低噪声直流测量提供EMI屏蔽和不透光的测试环境。

6、多种光学系统选择

提供多种光学器件，可在普通DC / CV应用的立体声或射频配置的单管MPI SZ10或MZ12之间进行选择。

产品应用：

适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。

TS200-SE

产品介绍：

MPI TS200-SE 8英寸探针台可提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能。

1、适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

3、支援飞安级低漏电量量测

4、温度量测范围 -60 °C 至 300 °C

产品优势：

1、ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的屏蔽系统，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

2、ShielDCap™

MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于多种搭配，在简化日常操作方面发挥了重要作用；完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探针卡支架替换。

3、空气轴承

MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了操作的便利性，同时又具有额外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。 

4、温度控制集成

晶圆装载门可以在15°C以下的任何温度下锁定，此独特功能使TS200-SE成为市场上安全的手动探针台，此外，温控系统可以通过集成式的触摸屏来操作，该触摸屏放置在操作员面前的便利位置，以实现快速的反馈。

5、ERS独特的AC3冷却技术

MPI旗下探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术及其空气管理系统，可减少多达30%至50%的干燥空气消耗。

6、多种光学系统选择

MPI光学器件可以选择单筒显微镜MPI SuperZoom™SZ10，高达12倍光学变焦的MegaZoom™MZ12或超过42毫米工作距离的EeyZoom™EZ10 ——其具有人体工程学20倍目镜的10倍光学变焦系统，90mm工作距离和低至2um以下的光学分辨率。

TS3000-SE

产品介绍：

TS3000-SE是TS3000探针台系统的升级开发，该系统配备了MPI ShielDEnvironment™，可实现超低噪声，满足设备的需求表征，晶圆级可靠性以及RF和mmW等多种应用。

产品优势：

1、适用于多种晶圆量测应用，支持2"、4"、6"、8"、12"等晶圆测试并兼容4×4mm碎片测试

2、模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

3、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

4、可靠性测试 - 精确的压力测试

5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

6、专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量境，以得到 1/f 超低噪测试结果

7、支援 fA 级超低噪 IV 量测

8、可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

9、具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

产品应用：

适用于多种晶圆量测应用。