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英铂科学助力上海禾赛科技搭建6寸晶圆级电学测试系统返回列表

2023-06-28 10:40:00 yl23455永利官网
装机产品:YB600-A

产品介绍:

YB600-A是150mm手动探针台系统,可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。

产品优势:

1、单机多应用设计

•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用,如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性

2、具备工效学设计

•XY 轴微调设计/Y 轴快速导入导出/载物台设计

•坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台

•两段式工作台快升把手设计,接触(contact) - 分离(loading),实现高可靠性、高效率性

•具备yl23455永利官网独有专利技术的气浮式移动样品台,搭配微调千分尺

3、弹性选配与升级性

•另有多种晶圆载物台可做升级,亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载,以完全支援您的应用需求

4、高压人机安全防护设计

•Platen 底部特征聚合物高压防护设计

•Chuck 独特安全隔离防护设计

•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆(标准 SHV Coaxial 接口)通用

•keithley&keysight 高压仪表,红外感测 interlock 安全互锁机制

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