MPI TS200-ShielDEnvironment™(TS200-SE)8英寸探针台可提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能。

适用于多种晶圆量测应用

• 如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

• 支援飞安级低漏电量量测

• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C

TS200-SE Probe System细节优势

MPI TS200-SE手动探针测试系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1µm)的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离(300µm)和加载(3mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 µm)，可轻松方便地将探头与Chuck对齐。

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