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MPI手动晶圆级探针台系统的详细介绍返回列表

2021-01-20 yl23455永利官网
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yl23455永利官网是一家专注于半导体晶圆级测试系统、微纳米科学等领域提供综合性解决方案的企业,为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供先进的半导体测试系统及微纳米科学仪器设备,助祖国半导体科学事业的腾飞贡献一份绵薄之力!

MPI手动晶圆级探针台系统TS150&TS200&TS300应用于测试半导体晶圆级、器件类电学特性,具备可以快速拖动样品台,更换样品功能,并且有着独特Platen平台设计,测试重复性提高95%。

MPI 全系列探针台具备模块化设计,可搭配不同变倍比显微镜,同时与德国ERS联合开发设计具有气冷温控技术的Thermal Chuck同步使用。

优点 :

• 适用于多种晶圆量测应用,如组件特性描述和建模,晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)

TS150&TS200&TS300细节优势

Platen Lift技术-三段平面式升降及下针: MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁,不仅实现了1um重复性,同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验,方便了用户的操作

MPI 手动晶圆级探针台系统