高功率探针台系统TS150-HP & TS200-HP

MPI大功率器件表征系统是专门为晶圆上大功率器件测试而设计的。MPI TS150-HP和TS200-HP探针系统提供了完整的150mm和200mm晶圆上解决方案，可在较宽的温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。

单机多应用设计

• 適用於高功率器件量测和其他多中晶圆级测试应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性(WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS)工效学与安全设计

• 方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计

• 坚固且可乘载多达 10 支高电压 HV 或 4 支大电流HC 微定位器的工作台

• 电磁屏蔽箱和工作台电弧屏蔽 ArcShieldTM设计，为高电压量测提供安全防护

• 支持较宽我温度范围：20℃至300℃

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