TS300-SE Probe System

MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)12英寸探针台旨在对300mm晶圆及以下微小器件提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能环境。 它以最佳高度与防震台结合在一起，使日常操作非常方便。

适用于多种晶圆量测应用

• 如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

• 专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

• 支援飞安级低漏电量量测

• 内置防震系统

• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C

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