半自动晶圆级探针台系统TS2000-SE的详细介绍返回列表
MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是市场上具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统,其包含独特的侧面自动装卸功能,
优势:
适用于多种晶圆量测应用
• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 失效分析 - 探针卡 / 节间探测
• 可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试
• 高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支持飞安级低漏电值量测
• 支持温度范围 -60 °C 至 300 °C