TS2500 Series Probe System

MPI的200毫米/8寸全自动探针台系统系列是专门为解决射频(RF)和大功率晶圆测试而开发的，该系统旨在实现24/7的生产可靠性，并与所有MPI系统附件兼容。

优势：

适用于多种量产型晶圆级射频量测应用

• 射频量测 - 至高 67 GHz

• 可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测

• 标准配备有偏心轴晶圆对准镜头

• 可支持配至薄50um薄晶圆选项

• 可支持温度区间：20℃到300℃

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