半自动晶圆级探针台系统TS3000-SE的特点与优势

TS3000-SE是TS3000探针台系统的升级开发，该系统配备了MPI ShielDEnvironment™，可实现超低噪声，满足设备的需求表征，晶圆级可靠性以及RF和mmW等多种应用。

优势：

适用于多种晶圆量测应用

• 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 可靠性测试 - 精确的压力测试

MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

• 专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量境，以得到最佳的 1/f 超低噪测试结果

• 支援 fA 级超低噪 IV 量测

• 可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

• 具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微暗室屏蔽系统，可为超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin或高功率等多种测试组合。

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