半自动晶圆级探针台系统TS2000的特点与优势

MPI TS2000是全球范围内公认的探针系统的自然演变，其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容，主要设计用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及对MEMS、高功率、RF和mmW器件测试的特殊要求。

优势：

适用于多种量产型晶圆量测应用

• 模块量测 ：DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

• 射频量测 ：至高 110 GHz

• 高功率量产测试 ： 至高 10 kV / 600 A

• 开放式温区：25°C至 300 °C

• 内置被动式防震系统

• 可乘载达 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具

超大面积工作台

TS2000系列提供了易于使用的大型探针座放置台面，以适应多达12套直流或4套射频的微定位器。

集成了负载拉力调谐器或更大面积的微定位器，使得TS2000系统成为射频和毫米波测量的理想选择。

快速的晶圆装载

宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200mm的晶圆，及微小器件的快速更换

两只陶瓷专用射频校准AUX卡盘位于前面，可以很方便地进行装卸。

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