半自动真空低温探针台使晶圆和器件在低温下9k(singleCCR系统)、4.5K(dualCCR系统)甚至低于4K(triple CCR系统)的情况下能够快速、经济地进行测试。低温探针台，设计用于支持在真空或气体环境中对高达100mm、150mm或高达300mm的晶圆进行自动动或半自动测试。 系统精度高、成本低、噪音低、使用方便。系统建立在一个振动补偿的多功能平台上，能够配置来各种测试应用程序。

· 可用于高达100mm、150mm和200mm的晶圆测试

· 可配置4或6个探针臂。

· 还可以选择探卡进行测试

· 显微镜选择包括7:1,12.5:1和16:1数码变焦显微镜

· BNC, Triax, DC pin and RF 可选

· 用于探针微米级定位的高分辨率探针臂

· Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可选

· RF选件包括可定制的RF探头、RFchunk和屏蔽罩系统

· 具有良好的隔振性能

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