MPI的200毫米/8寸全自动探针台系统系列是专门为解决射频(RF)和大功率晶圆测试而开发的，该系统旨在实现24/7的生产可靠性，并与所有MPI系统附件兼容。

优势：

适用于多种量产型晶圆级射频量测应用

• 射频量测 - 至高 67 GHz

• 可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测

• 标准配备有偏心轴晶圆对准镜头

• 可支持配至薄50um薄晶圆选项

• 可支持温度区间：20℃到300℃

特点与优势

薄晶圆处理

自动化装卸系统

自动校准系统

超大功率探头

完整的测试解决方案

TS2500可以配置MPI的高性能RF探针 ​​/高功率附件，例如MicroPositioners，RF线缆，校准片，TITAN™RF 探针，大功率仪器连接套件，Taiko晶圆支架或防电LiquidTray™，以确保安全和准确射频/大功率测量。

随着VNA与DUT的集成更紧密，与Rohde&Schwarz合作新的先进校准技术，使TS2500-RF成为了解决RF生产测试复杂性的完整测量解决方案。

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