LRT-001 微型探针冷热台·

结构紧凑，适用于各种变温测试

· -190℃~600℃(配液氮致冷模块)

· 气密腔室设计，可通保护气氛

· 4探针，手动定位(可扩展为8个)

· 上位机软件控制

· 支持改动或定制

温控特性

1. 载样台材质：银质

2. 温度传感器及数量：PT100，2个(配置载样台表面温度监测)

3. 温度控制：高精度PID控制(高低温控制器GD-001)

4. 温度范围：-190℃~600℃(配液氮致冷模块)

5. 控温速度：0~10℃/min

6. 加热时间：3min(从室温到600℃)

7. 致冷时间：4min(从室温到-190℃)

8. 温度分辨率：0.1℃

9. 温度稳定性：±0.1℃(>-160℃)，±0.3℃(<-160℃)

光学特性

1. 光路：反射光路

*可升级为透射光路

2. 视窗：可拆卸更换，可用不同材质玻璃实现不同波段光观察

3. 最小物镜工作距离：12.5mm

4. 透光孔：默认无透光孔，可升级增设透光孔

5. 上盖视窗：φ25mm

6. 视窗除霜：负温下吹气除霜管路

纳米探针台

纳米探测面临的挑战

· 定位精度

· 安全(软)着陆接触

· 具有适当尖端半径的可靠探针头

· 清洁环境：试验箱、样品、探针头

· 振动敏感性低

· 噪声抑制

· 漂移补偿

· 电路编辑/延迟：在FIB角度操作

优势

电流成像

· 快速图像采集(每帧约5秒)

· 不需要更容易控制的反馈

· 原位应用，扫描电镜可以用来确定投资回报率

· 与标准钨探针头配合使用

· picoamp分辨率，识别泄漏

· 污染物清除

恰当的高级探测工具

· 适应您对工作流程的快速理解

· 相关的光镜和电子显微镜，EBIC/EBAC，电流成像-获得整个图像

· 快速发现故障(开路、短路、连接泄漏、晶体管故障等)