FS-Pro 半导体参数测试系统

FS-Pro 半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备，在一个系统中实现了电流电压(IV) 测试、电容电压(CV)测试、脉冲式 IV 测试、高速时域信号采集以及低频噪声测试能力。一套设备可完成半导体器件的全部低频特性表征，其强大而全面的测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发评估进程，可无缝地与 9812 噪声测试系统集成，其快速 DC 测试能力进一步提升了 9812 系列产品的噪声测试效率。

基于在产线测试与科研应用方面的优异表现，FS-Pro 不仅被众多芯片设计公司和半导体代工厂、IDM 公司采用，其全面的测试能力更在科研学术界受到了广泛关注和认可，目前已被数十所国内外大学及科学研究机构所选用。

特点与优势

采用工业通用的 PXI 模块化硬件结构，配合自主开发的测试软件 LabExpress，FS-Pro 在半导体工业产线测试与科研应用方面都具有优秀的性能表现，可广泛应用于各种半导体器件、 LED 材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试等。LabExpress 为用户提供了丰富的测试预设和强大的测试功能，可实现非常友好的用户即插即用体验。 该系统还可支持多通道并行测试，进一步提升测试效率。

应用范围

被半导体工业界和众多知名大学及科研机构采用作为标准测试仪器

集成功能

· 同时具备高速高精度直流测试和脉冲测试能力

· 量程范围宽、测试速度快

· 支持小于1us采样时间的高速时域信号采集

· 高达10万点的数据量可以精细描绘信号随时间变化特性

· 低频噪声(1/f noise,flicker noise)测试能力特别是RTN(随机电报噪声)测试能力与对准9812

使用方式

简单灵活，无需编程即可实现自由的波形发生或电压同步与跟随

系统架构

PXI标准机箱，可扩展架构,支持通过多机箱扩展SMU卡数量

支持并行测试

内置功能强大的测试软件和算法，支持多通道并行测试成倍提升测试效率

硬件规格

宽量程

200V 电压，1A 直流电流

内置脉冲测试

200V 电压，3A 脉冲电流，最小 50us 脉宽

高速时域信号采集

最小采样时间小于 1us，高达 10 万点数据

高精度

30fA 精度，0.1fA 灵敏度

噪声测试速度

<10s/bias(大于 0.5Hz 频率分辨率)

噪声测试分辨能力

最低 2e-28A2 /Hz

噪声测试带宽

高速高精度模式下最高 100kHz，超低频模式下最高 40Hz

噪声测试频率分辨率

高速高精度模式下最低 0.1Hz，超低频模式下最低 0.001Hz

噪声测试最小阻抗

500Ω

内置 CV测试

200V/10kHz，最低可测至 100fF

外置 CV 测试模块

40V/2MHz(高精度型)或 40V/5MHz(高带宽型)

软件功能

FS-Pro 系列内置 LabExpress 测量软件具有强大的测试和分析功能，该软件提供友好的图形化用户使用界面和灵活的设定，具有下列主要功能 :

· 完整支持直流，脉冲，瞬态，电容和噪声测试功能

· 内置的常见器件测试预设可大大提高测试设置效率，帮助新手操作者快速完成测试

· 强大的自定义设定功能可以灵活编辑电信号

· 内置强大数据处理能力可测试后直接展开器件特性分析

· 多种数据保存方式，导出数据可供用户后续分析研究也可直接导入建模软件 BSIMProPlus 和 MeQLab 进行模型提取和特性分析

· LabExpress 专业版支持对主流半自动探针台和矩阵开关设备的控制，支持晶圆映射、并行测试实现自动测试功能，进一步提升测试效率