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纳米探针台
产品概要：
超紧凑的迷你探测平台可以安装多达8个测试探针，搭配微型机械手以及三轴子工作台。
多大27个轴中的每一个都可以定位精度极高，探头的Z驱动器向上摆动90°，极大限度满足测试样品以及快速尖端交换。
微操作器都配有一个低噪声三轴连接器，用于测量低电流。
整个平台可以放置于6英寸负载锁引入SEM或SEM/FIB的真空室，从而获得更精准测试数据结果。
基本信息：
纳米探测面临的挑战
1、定位精度
2、安全（软）着陆接触
3、具有适当尖端半径的可靠探针头
4、清洁环境：试验箱、样品、探针头
5、振动敏感性低
6、噪声抑制
7、漂移补偿
8、电路编辑/延迟：在FIB角度操作
技术优势：
电流成像
快速图像采集（每帧约5秒）；不需要更容易控制的反馈；原位应用，扫描电镜可以用来确定投资回报率；与标准钨探针头配合使用；picoamp分辨率，识别泄漏；污染物清除。
高级探测
适应您对工作流程的快速理解；相关的光镜和电子显微镜，EBIC/EBAC，电流成像-获得整个图像；快速发现故障（开路、短路、连接泄漏、晶体管故障等）
应用方向：
用于直观、原位、低电流电性能测量，在扫描电镜的真空腔室中,在纳米尺度对样品进行观察和表征分析。
纳米探针台
纳米探针台
