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探针台系统四探针法测量半导体电阻率测试方案返回列表

2021-08-27 yl23455永利官网
探针台系统四探针法测量半导体电阻率测试方案概述电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数,为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况,需要测

探针台系统四探针法测量半导体电阻率测试方案

概述

电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数,为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况,需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种,其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及对样品形状无严格要求的特点。因此,目前检测半导体材料电阻率,尤其对于薄膜样品来说,四探针是常用的方法。

yl23455永利官网的四探针法测量半导体电阻率的测试方案,采用美国吉时利公司的高精度源表(SMU),可以在输出电流时测试电压,也可以在输出电压时测试电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控,测量电压分辨率高达微伏级。支持四线开尔文模式,适用于四探针测试,可以简化测试连接,得到准确的测试结果。

上位机软件CycleStar指导电阻率测试步骤,测试方法清晰明确,即使不熟练的工程师也能迅速掌握测试方法。

内置电阻率计算公式,测试结束后直接从电脑端读取计算结果,方便灵活的做后续处理分析系统主要由源测量单元、探针台和上位机软件组成。四探针可以通过前面板香蕉头或者后面板三同轴接口连接到源表上。

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