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MPI 手动晶圆级太赫兹探针台系统TS150-AIT/TS200-THZ/TS150-THZ返回列表

2022-02-21 yl23455永利官网
TS150-AIT & TS200-THZTS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计,例如高速5G通信,卫星,非侵入性光谱,医疗保健设备以及短

TS150-AIT & TS200-THZ

TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计,例如高速5G通信,卫星,非侵入性光谱,医疗保健设备以及短距离汽车雷达等,其方法是在同一探针台上增加有源阻抗调谐器集成。这两个系统可结合毫米波,太赫兹(THz)和自动阻抗调谐器应用的要求,以较佳的测量方向性提供准确的测试。

可高达1.5THz的带宽、差分或宽带扩频器和/或自动阻抗调谐器的无缝集成;

扩展器/调谐器集成的新颖设计,可实现较佳的测量动态;

出色的机械稳定性和可重复性,结合方便和安全的操作。

卡盘移动系统

TS150-THZ具有10mm的精确卡盘Z调整,旨在灵活地集成不同的扩频器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。 在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案进行设置时极为有利,可以轻松快速地进行设置。

MicroPositioners的多种配置

专用且极坚固的探针压板设计可容纳两个东西方向固定的MP80大面积MicroPositioner。 通过将两个南北“电桥”作为标准配置,可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

探针座系统

独特的MP80-DX具有低至1µm精确的清晰度,搭配三丰数显千分尺。

成像系统

可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光学变焦高达12倍,工作距离超过45毫米。由于集成测试头/调谐器固有的空间限制,要求与DUT的距离最短,因此这种显微镜的体积小,非常适合RF和mmW应用。

TS150-THZ

MPI TS150-THZ是150 mm高频专用探针台,旨在对基板和150 mm晶圆进行精确分析。TS150-THZ可以支持多种RF和毫米波(mmW)应用,例如高达1.5THz的宽带,带状波导,次THz,负载牵引和RF噪声。它提供了无与伦比的功能:

• 无缝集成任何高达1.5 THz的宽带,差分或宽带扩频器

• 出色的机械稳定性和可重复性,结合方便和安全的操作

• 最小化测量路径以获得较佳的测量方向性

气浮式移到系统

MPI独特的气垫载物台设计,具有简单的单手定标器控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性,同时搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,不影响精确定位能力。

卡盘Z调整

TS150-THZ具有10mm的精细卡盘Z调整,旨在灵活地集成不同的扩频器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利,可以轻松快速地进行设置。

微型定位器

专用的极刚性探针台板设计可容纳两个东西方向的粗体——东西向配置的下行MP80大面积微选址器。通过将两个南北“电桥”作为标准配置,可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

MP80-DX

市场上另一个MPI开拓性解决方案——独特的MP80-DX,具有低至1µm的简单、精确的精确度,是精确且经济高效的多线TRL的理想选择,即多行TRL——毫米波和次太赫兹范围内唯一的RF校准方法。有关更多详细信息,请访问 MPI QAlibria® 软件。

 

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