高低温探针台TS2000-HP优势及简介返回列表
MPI的TS2000-HP半自动化探针台测试系统可提供8英寸及以下晶圆器件的高功率测量,先进的ShielDEnvironment™可提供低噪声和屏蔽的测试环境。
专为高电压和大电流量测应用而设计
• 适合至高 10kV / 600A (脉冲)的晶圆级高功率组件量测
• 提供载片下的高功率动、静态参数的测试
• 晶圆载物台表面镀金,最小化接触电阻;真空吸孔优化,适合装载至薄 50 µm 的薄晶圆
• 可选配搭载 Taiko 晶圆载物台
• 提供抗电弧解决方案
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支援飞安级低漏电值量测
• 温度量测范围 -60 °C to 300 °C