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MPI 手动晶圆级探针台系统TS150&TS200&TS300返回列表

2022-02-19 yl23455永利官网
TS150&TS200&TS300TS150&TS200&TS300应用于测试半导体晶圆级、器件类电学特性,具备可以快速拖动样品台,更换样品功能,并且有着独特Platen

TS150&TS200&TS300

TS150&TS200&TS300应用于测试半导体晶圆级、器件类电学特性,具备可以快速拖动样品台,更换样品功能,并且有着独特Platen平台设计,测试重复性提高95%。

MPI 全系列探针台具备模块化设计,可搭配不同变倍比显微镜,同时与德国ERS联合开发设计具有气冷温控技术的Thermal Chuck同步使用。

优点 :

• 适用于多种晶圆量测应用,如组件特性描述和建模,晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)

气浮式样品移动系统

MPI独特的气垫载物台设计,具有简单的单手冰球控制,为操作人员提供了无与伦比的便利性,可实现快速XY导航和快速晶圆装载,同时又不影响精确的定位功能,并具有精确的25×25 mmXY-θ 千分尺运动。

高度调整比例

探针台工作台面具有25毫米的精细高度调节,以支持各种应用。独特的1mm精确刻度可提供有关当前位置的直接反馈。

多种卡盘选项

手动系统可提供多种卡盘选项,以满足不同的预算和应用需求。 卡盘选件包括MPI的同轴、三轴、高功率chuck或各种ERS高低温chuck,以支持高达300°C的温度测量,热触摸控制器的无缝集成可快速便捷地进行操作。

紧凑而刚性的设计 Platen 平台

紧凑而坚固的压盘设计可容纳多达十个DC或四个RF MicroPositioner,以满足各种应用需求。高度可重复的压板提升机设计具有三个不连续的位置,用于接触,分离和加载,并带有安全锁实用程序,可实现轻松的步进和重复功能。此外,四端口RF MicroPositioner的矩形调节是保证RF探针之间对准的标准功能。

辅助AUX卡盘

射频卡盘包括两个专用陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的射频校准。

多种光学系统选择

提供多种光学器件,可以在用于普通DC / CV应用的立体声或用于射频配置的单管MPI SZ10或MZ12之间进行选择。

 

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