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英铂携MPI助中国XXX通信研究院搭建高温高频电学测试系统返回列表

2024-03-07 13:30:20 yl23455永利官网
装机案例:TS200

产品介绍:

TS200探针台应用于半导体晶圆级、器件类电学特性,具备单手可快速拖动样品台,快速位移到所需位置,并且有着独特Platen平台设计,测试重复性显著提高95%。

产品优势·:

1、气浮式样品移动系统

MPI独特的气垫载物台设计,单手控制,为操作人员提供了很强的便利性,可实现快速XY导航和快速晶圆装载,同时又不影响精确的定位功能

2、高度调整

针座平台具备25毫米的精细高度调节,以支持各种应用。独特的1mm刻度可精确的显示当前位置

3、多种卡盘选项

手动系统可提供多种卡盘选项,以满足不同的预算和应用需求。卡盘选件包括MPI的同轴、三轴、高功率chuck或各种ERS高低温chuck,以支持高达300°C的温度测量

4、紧凑坚固的 Platen 平台

紧凑而坚固的压盘设计可容纳多达10个DC或四个RF MicroPositioner,满足各种应用需求

5、多种光学系统选择

提供多种光学器件,如单筒金相显微镜SZ10或MZ12之间进行选择

6、振动隔离平台

手动系统包括减震基座,以实现稳定可靠的探针与待测器件的长期接触,从而确保可靠稳定的测量结果。

7、屏蔽系统

暗箱为超低噪声直流测量提供EMI屏蔽和不透光的测试环境

产品应用:

适用于多种晶圆量测应用,如组件特性描述和建模,晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。

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