半自动探针台技术指标

支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4个SMU接口，可同时输出(测量)四路直流信号。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 测量功率100V*10mA。 开路漏电流20fA。

半自动探针台主要功能

通过和外接的测试仪器4156C以及温度控制设备TP03000A的连接，组成一个测试平台，完成对器件封装前的电性能测试(电阻，C/V,击穿特性等)。

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