手动晶圆级探针台系统（微屏蔽）TS300-SE Probe System返回列表
MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)12英寸探针台旨在对300mm晶圆及以下微小器件提供高级EMI RFI 不透光屏蔽，超低噪声，
MPI TS300-ShielDEnvironment™(TS300-SE)12英寸探针台旨在对300mm晶圆及以下微小器件提供高级EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能环境。 它以较佳高度与防震台结合在一起，使日常操作非常方便。
适用于多种晶圆量测应用
• ，如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支援飞安级低漏电量量测
• 内置防震系统
• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C
探针台特点与优势
ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微暗室屏蔽系统，可提供超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的测试环境。
ShielDCap™
MPI ShielDEnvironment™微暗室屏蔽系统提供多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种搭配测试组合。
MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于重新配置,在简化日常操作方面发挥了重要作用。
空气轴承
MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手定标器控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性，同时又具有精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，不影响精确定位能力。
独特的卡盘Z调整
TS300-SE除空气轴承XY工作台外还包括5mm的Z吸盘调整(μm分辨率)，可实现精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正。
1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈，另外20毫米气动举升机提供了便携式的一键升降程序。
