MPI TS150-THZ是150 mm高频专用探针台，旨在对基板和150 mm晶圆进行精确分析。TS150-THZ可以支持多种RF和毫米波(mmW)应用，例如高达1.5THz的宽带，带状波导，次THz，负载牵引和RF噪声。它提供了无与伦比的功能：

• 无缝集成任何高达1.5 THz的宽带，差分或宽带扩频器

• 可靠的的机械稳定性和可重复性，结合方便和安全的操作

• 测量路径较小以获得最佳的测量方向性

卡盘移动系统

TS150-THZ具有10mm的精确卡盘Z调整，旨在灵活地集成不同的扩频器，例如Rohde&Schwarz，VDI或OML。 在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案进行设置时极为有利，可以轻松快速地进行设置。

MicroPositioners的多种配置

专用且极坚固的探针压板设计可容纳两个东西方向固定的MP80大面积MicroPositioner。 通过将两个南北“电桥”作为标准配置，可以轻松进行四端口RF测量或DC偏置。

探针座系统

独特的MP80-DX具有低至1µm精确的清晰度，搭配三丰数显千分尺。

成像系统

可以选择单管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光学变焦高达12倍，工作距离超过45毫米。由于集成测试头/调谐器固有的空间限制，要求与DUT的距离最短，因此这种显微镜的体积小，非常适合RF和mmW应用。

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