手动晶圆级太赫兹探针台系统TS150-AIT & TS200-THZ返回列表
TS150-AIT和TS200-THZ探针系统专为新兴的THz应用而设计,例如高速5G通信,卫星,非侵入性光谱,医疗保健设备以及短距离汽车雷达等,其方法是在同一探针台上增加有源阻抗调谐器集成。这两个系统是150 mm和200 mm探针系统,可结合毫米波,太赫兹(THz)和自动阻抗调谐器应用的要求,以较佳的测量方向性提供准确的测试。
任意最高可达1.5THz的带宽、差分或宽带扩频器和/或自动阻抗调谐器的无缝集成;
扩展器/调谐器集成的新颖设计,可实现较佳的测量动态;
可靠的机械稳定性和可重复性,结合方便和安全的操作。
气浮式移到系统
MPI独特的气垫载物台设计,具有简单的单手定标器控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性,同时搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,不影响精确定位能力。
卡盘Z调整
TS150-THZ具有10mm的精细卡盘Z调整,旨在灵活地集成不同的扩频器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个弯曲解决方案的设置非常有利,可以轻松快速地进行设置。