半自动晶圆级探针台系统TS2000 Probe Systems特点与优势返回列表
超大面积工作台
TS2000系列提供了易于使用的大型探针座放置台面，以适应多达12套直流或4套射频的微定位器。
集成了负载拉力调谐器或更大面积的微定位器，使得TS2000系统成为射频和毫米波测量的理想选择。
快速的晶圆装载
宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200mm的晶圆，及微小器件的快速更换
两只陶瓷专用射频校准AUX卡盘位于前面，可以很方便地进行装卸。
集成硬件控制面板
智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观。
温控系统
便捷式的触摸屏来操作热卡盘(从20°C或环境温度到最高300°C)，实时显示卡盘温度，该触摸屏位于操作员前方的便利位置，以实现快速的操作和即时的反馈。
探针卡和微型定位器
多达12套DC或4套DC和4套射频微型定位器，及4.5英寸的标准探针卡夹具，使该系统成为设计验证和(或)故障分析工作的理想选择。
整合式DarkBox
TS2000-D就是已经集成了DarkBox的TS2000!
该系统专为各种屏蔽光电磁等敏感器件而设计，嵌入式的互锁，LED照明和标准化接口面板而设计，是受光和激光安全保护的测试环境的首选。
仪器集成
可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。
软件套件SENTIO®
MPI自动工程探针系统由独特且革命性的多点触摸操作控制SENTIO®软件套件，简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。
集成式的RF应用系统，无需切换到另一个软件平台——MPI RF校准软件程序QAlibria®与SENTIO®完全集成在一起，遵循单一操作概念方法，易于使用。
隔振系统
TS2000结合了两种类型的隔振解决方案，可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。
