高低温真空微波探针台是一种用于电子与通讯技术范畴的工艺实验仪器，于2016年10月16日启用。

高低温真空微波探针台技术指标

1、六个探针臂接口，可以装置六个探针臂。

2、一个CF40 真空抽气口，一个疾速破真空进气口。

3、载物Chuck 温度范围：4K-500K ;CF法兰接口，零碎极限真空优于5*10-6Pa。

4、漏率优于：1.3*10-10Pa.M3/s;探针X-Y-Z三方向挪动，行程：25.4mm，定位精度：10μm。

5、双屏蔽chuck高低温时到达100FA 的测试精度。

高低温真空微波探针台主要功能

可以完成样品在高温真空环境的测试，完成样品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K恣意温度点的准确电学测量，可完成直流和微波(40GHz)的测量。

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