微细形状测定机(台阶仪)Step Height Measuring System

ET150K31 组合

产品特性

· 设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震

· 独特的直动式传感器设计

· Z方向重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

· Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

· 样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

· 高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向最大测量长度100mm，Y方向最大移动150mm

· 自带三维测量功能

ET150K31的结构

花岗岩低重心设计

极佳重复性与线性度

采用直动式检测方式

可避免圆弧补正误差

可避免Bearing间隙误差

台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

直动式检出器构造

直动式检出器测量边沿效应

重复测量数据 (10 times)

Taylor Hobson 标准样

直动式检出器测量边沿效应

线性度

Vertical linearity(垂直线性度) : ±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

线性度计算公式： 误差范围 / Z方向测量范围

测量设备型号 : ET-150系列

测试样品为 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 认证的标准样品

Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um

VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm

VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

VLSI SHS-9400QC

VLSI SHS-440QC

高分辨率

纵轴最高分辨率0.1nm

横轴最高分辨率0.1um

X测定速度可调：5μm~2mm/s

可测量超薄样品、高深宽比样品、多层台阶等

超高垂直直线度

垂直直线度：任何直线垂直方向上的偏移量称为垂直直线度

可追溯性：通过ISO9000国际认证，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆有出厂测试认证报告

超高垂直直线度精度保证： 局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力

超高垂直直线度的优势

ET150K31绝佳的设计，达到出色的测量效果

设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震

出色的测量稳定性和设备稳定、耐用性

直动式检测器

出色的测量重复性&线性度，确保各样品台阶测量的精度、准确度

样品台超高的垂直直线度保证

进一步提高台阶测量精度，确保样品形状不变形

样品台X方向光栅尺定位，最长测量距离100mm，最快测量速度5μm/s

样品周期性结构不失真，长距离有利于测定多种国际参数

实时监控测量位置

超高直线度国际认证数据

位移光栅尺与时间取样

形状及粗度解析

粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测量参数多达60种;可测量台阶及倾斜度。

超大测定力范围

测定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意设定可测定软质材料面，如:COLOR FILTER、SPACER、PI等

触针保护盖板及方便更换

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