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Chuck System
产品概要：
对于不同的要求，MPI提供了多种：同轴、 三轴、射频、毫米波、大功率夹头、从环境温度到-60°C至300°C，可用选项的示例包括带有真空孔的专用顶表面，镀金或纯绝缘材料制成的表面。
基本信息：
ERS集成技术(IT)
在不同温度下进行晶圆探测仍然是一个重大挑战，MPI与ERS一起在所有MPI Engineering Probe System中提供热卡盘的统一软件和硬件集成：测量结果、减少维护、同类最佳的热特性、较快的过渡时间、更好的系统平坦度、在整个温度范围内具有出色的热分布。
MPI和ERS AirCool®PRIME技术
MPI公司和ERS电子有限公司共同设计了新型300mm热卡盘AirCool®PRIME技术系列，可将浸泡时间减少60%。这些系统可以配置为具有-60°C，-40°C，-10°C，20°C或30°C的较低温度起点，并具有200°C或300°C的较高终点，所有这些都是为了适应不同的需求和预算。AirCool®PRIME 技术可以在没有冷却器的情况下在-10°C下进行测试，或者使用非常小的冷却器在-40°C下进行测试，从而使系统极具成本效益，降低了总体测试成本，减少转换时间，改善电气性能。
热控制器
热控制器触摸屏面板无缝集成到所有MPI的探针系统中，提供了极为方便的操作，并大大减少了测试单元的占地面积。
ERS独特的AC3冷却技术
这些卡盘结合了独特的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™，可大幅减少30%至50%的空气消耗。
高热稳定性探针台板和辅助夹头
所有MPI 300°C系统都包括专用的高热稳定性探针压板，无论温度范围如何，都能实现较佳的接触质量。所有MPI RF卡盘都包括两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的RF校准。
技术优势：
1、具有ERS集成技术
2、热控制器触摸面板方便快捷
3、具有ERS独特的AC3冷却技术
4、高热稳定性探针台板，接触质量较佳
应用方向：
应用于-60°C至300°C的环境温度。
