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TS3000-HP & TS3500-HP
产品概要:
TS3000-HP 和 TS3500-HP 是 MPI 的两个新的专用探针台,用于在-60 ° C至 +300 ° C的宽温度范围和 3 kV(三轴)/10 kV(同轴电缆)和 600 A 测量范围,可以对薄晶圆或 Taiko 晶圆进行测试。
基本信息:
两个系统都包含 MPI 的 ShielDEnvironment™,用于超低噪声测量,TS3500-HP 是提高测试效率(最高 10 倍)和全自动晶圆处理(例如 150 mm SiC、200 mm GAN 以及 300 mm SiGe 晶圆)的理想选择。
技术优势:
1、测试效率显著提高
2、温度和测量范围较广
3、精确度较高
应用方向:
可以对薄晶圆或 Taiko 晶圆进行测试,用于超低噪声测量等。