yl23455永利(卓越)股份有限公司-官方网站

新闻活动

真空探针台上海TS150&TS200&TS300型号介绍返回列表

2021-05-31 yl23455永利官网
气浮式样品移动系统MPI独特的气垫载物台设计,具有简单的单手冰球控制,为操作人员提供了无与伦比的便利性,可实现快速XY导航和快速晶圆装

气浮式样品移动系统

MPI独特的气垫载物台设计,具有简单的单手冰球控制,为操作人员提供了无与伦比的便利性,可实现快速XY导航和快速晶圆装载,同时又不影响精确的定位功能,并具有精确的25×25 mmXY-θ 千分尺运动。

高度调整比例

探针台工作台面具有25毫米的精细高度调节,以支持各种应用。独特的1mm精确刻度可提供有关当前位置的直接反馈。

多种卡盘选项

手动系统可提供多种卡盘选项,以满足不同的预算和应用需求。 卡盘选件包括MPI的同轴、三轴、高功率chuck或各种ERS高低温chuck,以支持高达300°C的温度测量,热触摸控制器的无缝集成可快速便捷地进行操作。

紧凑而刚性的设计 Platen 平台

紧凑而坚固的压盘设计可容纳多达十个DC或四个RF MicroPositioner,以满足各种应用需求。高度可重复的压板提升机设计具有三个不连续的位置,用于接触,分离和加载,并带有安全锁实用程序,可实现轻松的步进和重复功能。此外,四端口RF MicroPositioner的矩形调节是保证RF探针之间对准的标准功能。

更多信息点击查看详情